国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“半导体量测设备研发数据优化方法、产品及设备”的专利，公开号CN122260887A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明提供了一种半导体量测设备研发数据优化方法、产品及设备。半导体量测设备研发数据优化方法包括：从待研发半导体量测设备的工艺参数数据库中，提取关键工艺参数项；从工艺参数数据库中，提取并分析量测性能数据以及与关键工艺参数项对应的工艺参数数据，以获得满足优化目标的初始优化参数组合；获取研发子模块协同模型，将初始优化参数组合输入研发子模块协同模型，并进行协同仿真；获取仿真结果，根据仿真结果对初始优化参数组合进行调整，以获得满足待研发半导体量测设备的量测性能要求的迭代优化参数组合。本发明的半导体量测设备研发数据优化方法能够降低模块适配成本，提升量测精度的校准效率，缩短研发周期。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息172条，专利信息435条，此外企业还拥有行政许可18个。

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